鏡面外觀缺陷檢測系統(tǒng)

SKU: FM-DVM

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

晶圓、基片及精密光學(xué)元件表面缺陷自動篩查和量測

檢測對象：

晶圓片、蓋板、基片、精密光學(xué)元件（平晶，棱鏡，玻片等）

面向行業(yè)：

半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、3C蓋板及光學(xué)基片、光學(xué)拋光加工

技術(shù)參數(shù)：

Ø 缺陷最大檢測口徑300X200mm （覆蓋8寸晶圓，可訂制12寸晶圓機(jī)臺）

Ø 缺陷檢測分辨率最高0.5um

Ø 缺陷檢測類型：麻點、劃痕、紋理、異色、破邊等

Ø 自動缺陷識別及尺寸量測

Ø 手動上下片，支持半自動和自動上下片的開發(fā)

Ø 技術(shù)特點

Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測

Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對缺陷進(jìn)行量測判定

Ø 軟硬件可以按照實際樣品檢測需求進(jìn)行訂制

可附帶增加檢測基片三維翹曲功能

◆ 測量實例

麻點和劃痕.jpg

麻點和劃痕表面紋理


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