技術(shù)參數(shù)：
Ø 缺陷最大檢測(cè)口徑300X200mm （覆蓋8寸晶圓，可訂制12寸晶圓機(jī)臺(tái)）
Ø 缺陷檢測(cè)分辨率最高0.5um
Ø 缺陷檢測(cè)類型： 麻點(diǎn)、劃痕、紋理、異色、破邊等
Ø 自動(dòng)缺陷識(shí)別及尺寸量測(cè)
Ø 手動(dòng)上下片，支持半自動(dòng)和自動(dòng)上下片的開(kāi)發(fā)
Ø 技術(shù)特點(diǎn)
Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測(cè)
Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對(duì)缺陷進(jìn)行量測(cè)判定
Ø 軟硬件可以按照實(shí)際樣品檢測(cè)需求進(jìn)行訂制
可附帶增加檢測(cè)基片三維翹曲功能
◆ 測(cè)量實(shí)例
麻點(diǎn)和劃痕 表面紋理
注意事項(xiàng)：
儀器成套性與可選購(gòu)件可參考產(chǎn)品原頁(yè)面，本頁(yè)只提供儀器核心技術(shù)參數(shù)。
產(chǎn)品價(jià)格均含有商品運(yùn)費(fèi)（大陸地區(qū)除外）及發(fā)票的價(jià)格但是不包含工程師上門(mén)培訓(xùn)及調(diào)試的費(fèi)用。
科信不保證網(wǎng)站展示產(chǎn)品的時(shí)效性,部分儀器可能已升級(jí),保留最終解釋權(quán)。
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