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自由曲面三維面型檢測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹產(chǎn)品功能： 光學(xué)元件表面的三維面型測(cè)量、 面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評(píng)價(jià) 檢測(cè)對(duì)象： 自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、 玻璃面板、透鏡、精密模具、 晶圓硅片等 面向行業(yè)： HUD、AR、精密光學(xué)及 3D 曲面 玻璃等領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu) 技術(shù)特點(diǎn)： 1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場(chǎng) 3D 輪廓測(cè)量。 2、測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)單,無(wú)需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測(cè)量時(shí)間一般小于 20 秒；檢測(cè)效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于三坐標(biāo)和UA3P 等接觸式三維檢測(cè)設(shè)備，適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。 3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對(duì)分析，可自動(dòng)完成面型質(zhì)量評(píng)價(jià)，輸出信息完善：包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計(jì)算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。
4、完備的擬合分析：xy 多項(xiàng)式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。 5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點(diǎn)，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見(jiàn)的注塑缺陷。可以提供暗場(chǎng)缺陷分析。可以根據(jù)用戶(hù)需求開(kāi)發(fā)統(tǒng)計(jì)功能。
6、豐富的線(xiàn)性尺寸分析功能，可以分析整體線(xiàn)性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報(bào)告。
7.單點(diǎn)車(chē)刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點(diǎn)車(chē)反射鏡面型誤差測(cè)量結(jié)果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um
8完善的測(cè)量輸出功能（測(cè)量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測(cè)報(bào)告輸出以及 Log 統(tǒng)計(jì)文件輸出），可根據(jù)用戶(hù)需求訂制輸出報(bào)告的內(nèi)容格式。 技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)：
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FM-AR532/AR785原子力顯微鏡與激光拉曼光譜儀一體機(jī) 對(duì)納米材料表面形貌、顆粒度、粗糙度和拉曼光譜性能進(jìn)行表征、分析 |
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FM-Nanoview1000AFM 分體式原子力顯微鏡 帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域 |
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FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 開(kāi)啟全民原子力顯微鏡時(shí)代，掃描范圍更廣，定位更精確 |
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原子力顯微鏡（環(huán)境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
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原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM |
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三維測(cè)量顯微鏡 |
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