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雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)

SKU: FM-DP-3D

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品介紹:

  采用彩色激光共焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面微米、次微米級粗糙度檢測,并且可以進行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點。

    該系統(tǒng)可用于測量大尺寸樣品,軟件功能含括了點測量、線測量、面測量等強大的功能,可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測與分析、2D輪廓測量與3D形貌分析、平面度檢測、共面度檢測、平行度檢測等。

本系統(tǒng)特點:

一、采用傳動裝置:直線磁軸電機驅(qū)動

二、專業(yè)集成設(shè)計

三、豐富的三維計測

四、多樣的三維觀察

 

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù):

 

探頭A

探頭B

工作距離

11mm

19mm

量程

±190um

±1700um

最大傾角

±28°

±21°

光斑尺寸

10um

20um

分辨率

10nm

40nm

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

最小厚度測量

12um

66um

最大厚度測量

511um

5098um

電動臺參數(shù):

XY平臺

驅(qū)動

直線磁軸電機

平臺大小

220X230mm

XY方向行程

100X100mm

分辨率

0.05μm

重復(fù)定位精度

<1μm

最大允許負(fù)重

2Kg

掃描速度

≤80mm/s

掃描間距

≥0.5μm

電氣特性

控制器(專用電腦)額定輸入

100-240V AC 5.3A 50/60Hz

驅(qū)動器(專用機箱)額定輸入

48V DC 2.1A

傳感器輸入

24V DC 3A


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