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大平臺(tái)顯微激光拉曼光譜儀

SKU: FM-Op- Ra-MX

產(chǎn)品介紹

     產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

   本儀器是一款可以對(duì)樣品進(jìn)行目鏡觀察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測(cè)以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡等構(gòu)成。

特點(diǎn):

1.全新的MX大平臺(tái)檢測(cè)顯微鏡,最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。

2.可以同時(shí)插入三個(gè)不同波長(zhǎng)的拉曼光譜儀檢測(cè)模塊,并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換,即可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)拉曼的快速自動(dòng)檢測(cè)。

3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個(gè)波長(zhǎng),且可搭配不同性能的光譜儀,如非制冷、制冷、深度制冷等,以滿足客戶對(duì)不同樣品、檢測(cè)精度的不同需求。

4.若選配自動(dòng)平臺(tái),還可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。

技術(shù)參數(shù)

顯微鏡參數(shù):

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,微動(dòng)格值:1微米

最大行程:35mm

目鏡

大視野(視場(chǎng)數(shù)25mm)

物鏡轉(zhuǎn)器

六孔轉(zhuǎn)換器

物鏡

5X、10X、20X、50X、100X

無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡

載物臺(tái)

平臺(tái)面積:718X420

移動(dòng)范圍:356X305

帶離合器手柄

電動(dòng)平臺(tái)

平臺(tái)面積:495X641

移動(dòng)范圍:306XXI06

重復(fù)精度:(3+L/50)um

照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器

內(nèi)置視場(chǎng)/孔徑光欄

帶濾色片與偏光裝置插槽

三目鏡筒

瞳距55mm-75mm,

CCD適配鏡

0.5X C-mount

分光比:50/50,100/0,0/100

觀察方式

明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC

其它

高精度測(cè)微尺

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

包裝清單


  拉曼光譜儀參數(shù):

拉曼光譜范圍

200-3600cm-1

分辨率

<15cm-1@25μm slit

激光器

532±1nm,線寬≤0.2nm

激光功率穩(wěn)定性

≤3% P-P(@2hrs)

輸出功率

0-100mW 可調(diào)

濾光片激光截止深度

OD8

工作溫度

0-40℃

工作濕度

5-80%

激光器壽命

5000hrs


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