平板掃描式原子力顯微鏡FM-Nanoview LSCL-AFM

SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM

產(chǎn)品介紹

◆實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡；

◆采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描；

◆ 三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；

◆ 電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺和升降臺，可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測；

◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
◆ 馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域；

◆ 閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

技術(shù)參數(shù)

工作模式	接觸模式、輕敲模式	樣品重量	≤0.5Kg
選配模式	摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力	Z升降臺	步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，最小步長10nm
力譜曲線	F-Z力曲線、RMS-Z曲線	Z升降行程	15mm（可選20mm，25mm）
XY掃描方式	樣品驅(qū)動(dòng)式掃描，閉環(huán)壓電平移式掃描臺	光學(xué)定位	5X光學(xué)物鏡（可選10X/20X物鏡）
Z掃描方式	探針驅(qū)動(dòng)式掃描	攝像頭	500萬像素?cái)?shù)字CCD
XY掃描范圍	閉環(huán)100×100um	掃描速率	0.6Hz~30Hz
Z掃描范圍	5um	掃描角度	0~360°
掃描分辨率	閉環(huán)XY向0.5nm，Z向0.05nm	運(yùn)行環(huán)境	Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
XY樣品臺	步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制，移動(dòng)精度1um	通信接口	USB2.0/3.0
XY移動(dòng)行程	100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）	儀器結(jié)構(gòu)	龍門架式掃描頭，大理石底座
樣品載物臺	直徑100mm（可選200mm，300mm）	減震方式	彈簧懸掛式（可選主動(dòng)式減震臺）

應(yīng)用案例

藍(lán)寶石外延片/掃描范圍1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm

砷化鎵晶圓.png 表格2.png 平板掃描2.png

砷化鎵晶圓/掃描范圍0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm

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