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40倍顯微鏡物鏡光學系統(tǒng)仿真流程

 1、選擇初始結構并設置參數(shù)

顯微鏡物鏡的初始結構選擇如下:
1.jpg
根據(jù)圖片我們不難發(fā)現(xiàn),初始的鏡片成像的質量并不理想,這是ZEMAX軟件的特性所致,我們進行一下步驟,也就是軟件的自動優(yōu)化校正。
2、自動優(yōu)化
首先,建立自動優(yōu)化函數(shù)。具體過程如下:選擇Editors>>  Merit Function,彈出 Merit Function Editor  對話框,在Type欄中輸入EFFL,并將Target定為6.930840, Weight值取1.0; 其次,選擇Merit Function Editor對話框工具欄中的Tools>>Default Merit Function, 設置Optimization and Reference為RMS~Wavefront~Centroid;
最后,進行自動優(yōu)化。顯微鏡物鏡結構數(shù)據(jù)如下:
2.jpg
 
經(jīng)過自動優(yōu)化后的顯微物鏡的結構、傳函以及像差如圖所示。此時,傳遞函數(shù)接近于衍射極限,成像質量較好,基本上達到設計的要求。
3.jpg
 
3、物鏡的光線像差(Ray Aberration)分析
通過光線特性曲線來分析光線像差,以顯示關于入瞳坐標函數(shù)的光線像差。本次設計的40X顯微物鏡系統(tǒng)的光線特性曲線如圖所示。
5.jpg
 
4、物鏡的光學傳遞函數(shù)(MTF)分析
光是一種線性變化的波長,只要給定相應的條件,光就可以保持它的線性不變性,所以我們就可以引用高等數(shù)學的方法來分析它的性能。FFTMTF是用快速傅立葉變化算法計算的MTF是最基本的成像光學系統(tǒng)的評價方式,它能靠數(shù)學的自有的嚴謹性提供精準的數(shù)據(jù)此時的傳遞函數(shù)接近于衍射極限,成像質量好。下圖為照相物鏡的光學傳遞函數(shù)圖
6.jpg
 
5、最終仿真參數(shù)分析 原始物高設定如下:
7.jpg
由圖可看出:
(1)物方數(shù)值孔徑NA與要求的0.65很接近;(2)初始設定的物高為12.5,仿真所得像高為0.31,則放大倍數(shù)m=1.25/0.497=25.1,與要求的放大倍數(shù)40倍十分接近。
最終的仿真參數(shù)基本符合設計的要求。
 

 

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