CM120BD研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡采用明暗場半復消物鏡，配置12寸大平臺，帶快速移動裝置，配置有偏光裝置

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產品介紹

產品概述

研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應用于芯片/晶圓/LCD，粒子爆破檢查等行業(yè)使用。采用半復消技術，集明場，暗場及偏光等多種照明方式，任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美。用戶可根據(jù)實際應用進行功能選擇，是工業(yè)檢測的有效工具。特別是針對線路板切片測量，晶圓檢測，金相材料，高分子材料等尺寸較大的樣器進行分析檢測，本機配備了偏振系統(tǒng)可做偏光檢測，在半導體和PCB檢測中，可消除雜光，細節(jié)更加清晰。同時可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡，可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果，大幅提高圖像對比度，特別適合觀察導電粒子。

性能特點

1、采用明暗場半復消物鏡，成像清晰。

2、配置12寸大平臺，帶快速移動裝置。

3、配置有偏光裝置，適合觀察高反光材料的表面；

技術參數(shù)

顯微鏡參數(shù)

序號	名稱	技術參數(shù)
1	平場目鏡	正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm
2	物鏡	無限遠長工作距明場半復消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 （選購）無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購）
3	光學放大倍數(shù)	50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數(shù)25-1000X）
4	數(shù)碼放大倍數(shù)	75-3000X(搭配1200萬相機及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)
5	觀察頭	鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0
6	轉換器	5孔明暗場物鏡轉換器（帶DIC插槽）.
7	調焦機構	反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。
8	載物臺	12英寸載物臺，平臺面積 760430mm，玻璃臺面310418mm，移動行程：300mmX300mm機械平臺，X、Y方向同軸調節(jié)；含快速移動裝置
9	晶圓轉臺	12寸通用晶圓轉臺（選購）
10	偏光組件	起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板
11	反射照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，10W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心
13	聚光鏡	搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）
14	攝像接口	0.65倍專用攝像接口
15	干涉組件	諾曼爾斯基微分干涉片（選購）
16	顯微鏡工業(yè)相機	高清1200萬顯微相機或2000萬像素或自動對焦相機（選購）
17	圖像處理軟件	拍照，錄像，測量，實時圖像拼接，景深融合等（選購）
18	標尺	高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購）


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CM120BD研究級12寸大平臺半導體檢查顯微鏡 采用明暗場半復消物鏡，配置12寸大平臺，帶快速移動裝置，配置有偏光裝置

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