電子顯微鏡就是利用短光波來提高分辨力以檢視較小物體的。物鏡分辨力的高低與造象是否清楚有密切的關(guān)系。而目鏡沒有這種性能，因為目鏡只放大物鏡所造的象。為此，提高電子顯微鏡放大率的方法可從以下幾個方面考慮：①保持良好的加速電壓。加速電壓不能很低， 正常應(yīng)保持在20~30KV。②盡量縮短工作距離。工作距離不能太大，一般保持在5~8mm，以縮短探頭接收信號的距離。③保持好樣品的傾斜度，樣品傾斜10~150，使二次電子發(fā)射及接收的多。④聚光鏡放在600~650 左右，（數(shù)值越大，束斑尺寸越小，分辨率越高）。⑤對中良好，保證電子束對中，信號強，亮度好。⑥及時更換新的燈絲，使燈絲飽和，束流穩(wěn)定，并使束流值保持在100~150。⑦物鏡光闌合軸好（特征點在2000X 倍以上時，基本同心聚焦散焦）。⑧延長抽真空的時間以提高真空度（一般在30 分鐘以上基本達到平衡）或檢查真空系統(tǒng)的密封狀態(tài)。

顯微鏡是實驗室最重要的設(shè)備之一，而評價光學(xué)顯微鏡及電子顯微鏡性能的重要指標(biāo)都是分辨率。

顯微鏡的分辨率分辨率是指能清楚地分辨兩個小點或兩線間的最小距離。人眼本身就是一臺顯微鏡，在標(biāo)準(zhǔn)照明條件下，人眼在明視距離（國際公認為25cm） 上的分辨率約等于1/ 10mm。對于觀察兩條直線來說，由于直線能刺激一系列神經(jīng)細胞，眼睛的分辨率還能提高一些，這就是顯微鏡的分劃板使用雙線對準(zhǔn)的原理所在。

人眼的分辨率只有1/ 10mm， 那么比1/ 10mm 小的物體或比1/ 10mm 近的兩個微小物體的距離，人眼就無法分辨了。這時人們開始研制出放大鏡和顯微鏡，顯微鏡的分辨率定義是指在標(biāo)本上能清楚分辨的兩個小點之間的最小距離。其計算公式為：D=0.61λ／N.A.式中：D 為分辨率（μm）；λ 為光源波長（μm）；N.A 為物鏡的數(shù)值口徑（也稱鏡口率）。