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CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡半導(dǎo)體晶圓材料分析SKU:CMY-420科研級三目正置大平臺金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計理念,可以方便升級系統(tǒng),儀器配有偏光裝置可實現(xiàn)偏光觀察同時可選配暗裝置及微分干涉裝置。儀器緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微操作的防振要求。符合人機工程學(xué)要求的理想設(shè)計,使操作更方便舒適,空間更廣闊,圖像清晰、襯度好。適用于薄片試樣的金相、礦相、巖相、晶體等結(jié)構(gòu)分析和鑒別,電子芯片的檢查或用于觀察材料表面特性,如:劃痕、裂紋、噴涂的均勻性等及紡織纖維、化學(xué)顆粒的分析研究。是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器??偡糯蟊稊?shù):50X-800X |
顯微鏡參數(shù):
序號 |
名稱 |
技術(shù)參數(shù) |
平場目鏡 |
大視野 WF10X(Φ22mm) |
|
2 |
無限遠(yuǎn)長距平場物鏡 |
PL L5X/0.12 工作距離:26.1 mm PL L10X/0.25 工作距離:20.2 mm PL L20X/0.40 工作距離:8.80 mm PL L50X/0.70 工作距離:3.68 mm PL L80X/0.80 工作距離:1.25 mm |
3 |
總放大倍數(shù) |
50X-800X |
4 |
觀察頭 |
三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換) |
5 |
轉(zhuǎn)換器 |
五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位) |
6 |
粗微調(diào)調(diào)焦范圍 |
粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置 |
7 |
載物臺 |
機械式載物臺,外形尺寸:280mmX270mm,移動范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm |
8 |
光瞳距離 |
53-75mm |
9 |
濾色片 |
(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置 |
10 |
偏光裝置 |
推拉式檢偏器與起偏器 |
11 |
落射照明系統(tǒng) |
6V30W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄 |
12 |
儀器重量 |
凈重11.0公斤 毛重12.5公斤 |
13 |
儀器尺寸 |
儀器尺寸44X45X42(cm) 包裝尺寸45X50X50(cm) |