序號

名稱

技術參數(shù)

1

平場目鏡

正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm

2

物鏡

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡50X NA0.75 WD3.0

無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡100X NA0.90 WD1.0（選購）

3

光學放大倍數(shù)

50X-500X（選購100倍物鏡后放大倍數(shù)50-1000X）

4

數(shù)碼放大倍數(shù)

150-3000X(搭配1200萬相機及100倍物鏡，顯示器22英寸情況下)

5

觀察頭

鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

6

轉換器

5孔明場物鏡轉換器（帶DIC插槽）.

7

調焦機構

透反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調光，具有光強設定與復位功能

8

載物臺

8英寸平臺，平臺面積 525*330mm，移動行程：210mmX210mm機械平臺，X、Y方向同軸調節(jié)；含快速移動裝置

9

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板

10

反射照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，5W可調LED燈室，預定中心

11

透射照明系統(tǒng)

5W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心

12

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

13

攝像接口

0.65倍專用攝像接口

14

干涉組件

微分干涉板（選購）

15

顯微鏡工業(yè)相機

高清1200萬顯微相機 或2000萬像素 （選購）

16

圖像處理軟件

拍照，錄像，測量，實時圖像拼接，景深融合等（選購）

17

標尺

高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購）

18

晶圓轉臺

8寸通用晶圓轉臺兼容6/4寸（選購）