序號

名稱

技術參數(shù)

1

測量表面光潔度范圍

0.03～1μm（▽10～▽14）

2

工作物鏡的數(shù)值孔徑

0.65

3

工作距離

0.5mm

4

儀器的視場

目視：Φ0.25mm、照相：0.21×0.15mm

5

儀器的放大倍數(shù)

目視：500× 、照相：168×

6

測微目鏡放大倍數(shù)

12.5×

7

測微鼓分劃值

0.01mm

8

綠色干涉綠色片波長

λ≈5300Å

9

半寬度

▽λ≈100Å

10

工作臺升程

5mm

11

X、Y方向移動范圍

≈10mm

12

旋轉運動范圍

360°

13

儀器標準鏡高反射率

≈60%

14

低反射率

≈4%

15

可調變壓器輸入電壓

220V

16

輸出電壓

4V～6V

17

儀器重量

≈5㎏

18

外形尺寸

270×160×230mm